驅動部分 | 伺服電機 |
傳動結構 | 滾珠絲桿 |
X方向最大移動范圍 | 400mm |
Y方向最大移動范圍 | 250mm |
Z方向最大移動范圍 | 100mm |
X/Y方向最大移動速度 | 500mm/min |
Z方向最大測定速度 | 200mm/min |
最小微調距離 | 0.01mm |
機臺尺寸 | 650mmX850mmX900mm |
機臺凈重 | 100Kg |
機臺電源 | AC220V |
控制系統凈重 | 0.1gf |
荷重元 | 1Kgf或2Kgf或5Kgf |
荷重元最小讀值 | 0.01g |
測頭規格 | 單個傳感器對應直徑2、4、6、8、10mm各一個 |